משאבות ואקום למערכות הרמת פרוסות
משאבות ואקום למערכת הרמת פרוסות
שירטרוניקס הינה המשווקת הבלעדית של משאבות ואקום למערכת הרמת פרוסות מבית FLUORO
2 סוגי משאבות:
- FV-30
- FV-60
|
מודל |
FV-30 |
FV-60 |
|
דירוג זרימה |
2.5 l/min (0.088 cfm) |
2.5 l/min (0.088 cfm) |
|
לחץ |
-300 mmHg (-40 kPa) |
-600 mmHg (-80 kPa) |
|
הספק |
100-120 VAC |
100-120 VAC |
|
צריכה |
5.0 W |
10.0 W |
|
מידות (D x W x H) |
137 x 88 x |
137 x 88 x |
|
משקל |
|
|
|
תפקוד |
Continuous |
Continuous |
|
אורך חיים |
> 8760 hours |
> 8760 hours |
|
Wafer גודל |
Up to 6-inch |
8 and 12-inch |
